第两百九十一章 试制芯片
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光刻机的操作界面也显示出来了,不过这个操作界面确实日文的,陈学祖看到这些日文头都大。
“小农你过来看一下,能不能切换到英文。”陈学祖看向一旁小姑娘说道。
小姑娘叫浓颜灵,瓜子脸扎着双马尾,一副厚厚的大眼镜,看起来蛮可爱的。
“好的,陈爷爷。”农颜灵笑道。
浓颜灵走到控制台前,她用手指触摸屏幕,很快就找到语言选项,这里面不但有英文,还提供繁体中文选项。
因为小日子的光刻机并不对弯弯禁售,所以光刻机的系统有繁体中文选项。
“没想到还有繁体中文选项,这样操作起来就方便多了,谢谢你小陈,这边没什么事了,你先忙你的去吧。”陈学祖说道。
“那我先去翻译说明说了。”农颜灵笑道。
“小钟,把掩膜装上去,让人把晶圆体送进来,我们开始测试光刻机。”陈学祖转头看向身后的钟飞雄说道。
钟飞雄接到命令吩咐一旁的师弟去取晶圆体,他本人则是换上特制的丁腈手套,从放在一旁的无尘恒温箱取出掩膜。
不过在将掩膜版装到光刻机之前,得先对掩膜版进检查察,确认掩膜版没有问题之后,它按下了掩膜版进口处的开关,一只机械手臂从光刻机内伸出来。
钟飞雄小心翼翼的将掩膜版放在机械手臂上。
钟飞雄再一次按下舱门的开关,机械手臂慢慢的收回机舱中,至于后续的动作就看不到了,因为机器内部是密封状态。
这时一旁的小师弟推着一个手推车,手推车上放着一片片硅片,这些硅片已经涂上光刻胶,光刻胶是孔令儿两天前带来的。
想要跟进和改良光刻胶,孔令儿只能亲自飞来长春光机,跟光刻胶的整个使用过程。
待硅片都放入光刻机后小师弟说道:“老师,硅晶体已经放好了。”
“我这边已经看到了,系统上显示了。”陈学祖说道。
陈学祖将一张磁盘插入光刻机,校准系统需要先对掩膜版进行扫描,扫描成像后会出现在光刻机系统上,在确认芯片电路图和掩膜版没有区别后,原本灰暗的运行键亮了起来。
按下运行键后光刻机便开始运作起来。
虽然这个时代的光刻机运行效率没有后世那么高。不过凋刻十片硅片还是非常地简单的,仅仅只是花了6分钟就将硅片凋刻完毕。
硅片凋刻完毕你以为芯片制作就结束了?
这仅仅还只是一个开始而已,接下来要送硅片去清洗,先把未曝光的光刻胶清洗干净,清洗硅片需要放入超声波机器里清洗,通过特定频率才能将未曝光的光刻机清洗干净。
将硅片上未曝光的光刻胶清洗干净后,还要涂上特制的显影液才行,这样才能看到上面的电路图,随后还要硅片送进刻蚀机进行刻蚀。
刻蚀机技术含量相对低很多,长春光机早就制作出来了,而且已经上市量产了。
刻蚀机的工作原理是通过等离子体物理冲击,将未被光刻胶覆盖的氧化膜和下方的硅片刻蚀掉,形成所谓的鳍式场效应晶体管中的鳍。
刻蚀完的硅片还要再进行一次清洗,把翻盖的光刻胶和杂质清洗干净后,还要送进离子注入机才行,利用高速度高能量的离子束流注入硅片,改变其载离子浓度和导电的类型。
简单点来说这一步相当于给你的武器进行附魔,通过离子注入让硅片变得更强。
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