第四百一十三章：性能优异的碳基光刻胶

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‘碳基紫外光引发剂’的核心成分光敏引发剂的制造过程相当复杂，哪怕其中一大半以上的步骤可以通过智能程序进行控制，其制备失败的概率也不低。

即便是韩元，也折腾了两天的时间，经历了三次不同时期的失败，才将光敏引发剂的两种合成材料制备出来并合成出来完整的增感剂。

制备出来的增感剂整体无色透明，宛如蜂蜜一样粘稠。

这些光敏引发剂装在用聚酯材料构成的棕色瓶中, 保存在温度控制在十度的漆黑冰箱中。

之所以不用玻璃容器装，是因为成型后的光敏引发剂会和硅进行反应。

而存储环境避光，原理也一样。

从‘光敏引发剂’这个名字就能知道，这种材料对于光照的敏感度相当高，接触光照会引发材料的性质变化。

所以合成出来后，一直到使用前，整体都必须要避光保存。

包括使用‘光敏引发剂’合成的‘碳基紫外光引发剂’, 也就是碳基芯片光刻胶，都得在避光环境下保存。

被取出来后，碳基光刻胶会逐渐因为接受到了光照、接触了外界基底等因素而失效，时间大概是一个小时左右。

当然，如果仅仅是保存的话，通过避光、真空等手段，这种碳基光刻胶还是可以保存相当长的一段时间的。

像韩元这种使用棕色的聚酯瓶避光非真空保存，可以保存大概两年的时间。

如果保存手段更严谨一点，保存的时间可以增加至三年左右。

这已经足够了。

.......

花费了一周的时间，从溶剂组到增感剂到感光树脂，韩元将其一一合成了出来，并组装成了最终可用于石墨烯单晶晶圆上的光刻胶。

成型的光刻胶整体半透明，带着微微乳白色，透光度相当高。

韩元保存好大部分的光刻胶后，取了一小部分做了个实验。

之前制备完成切割好的石墨烯单晶晶圆取出来一小片，其中一半的面积涂抹上光刻胶，另一半则保持原样。

处理好后的石墨烯单晶晶圆通过紫外光源进行照射，时间为期三十秒。

三十秒的照射时间过后，韩元将其取出, 通过特殊溶液清洗掉上面覆盖的碳基光刻胶，然后浸入显影溶液中。

虽然浸泡在溶液中的石墨烯晶圆肉眼看不出什么变化，但当韩元用镊子夹住晶圆在显影溶液中轻轻晃荡的时候，就可以看到显影溶液的颜色变化了。

那是被显影溶液侵蚀掉并冲走了的石墨烯材料导致的。

.......

将石墨烯晶圆从显影溶液中取出，清晰掉上面残留的液体，透过观察设备，可以清晰的看到这一块石墨烯晶圆表面已经有了相当大的变化。

没有被碳基光刻胶覆盖的区域已经被显影溶液侵蚀的差不多了，而覆盖了光刻胶的另一半则并没有什么太明显的变化。

这就是负性光刻胶的功劳了。

它覆盖在石墨烯单晶晶圆表面后，通过紫外光照，可以在短时间内迅速变态，改变覆盖区域的石墨烯结构，增强其对显影溶液的抗性，让其变得不容易被侵蚀。

而没有覆盖光刻胶的地方，就会被侵蚀掉，形成与遮光物的形状相反的样子。

也就是形成掩膜版相反的模样。

这就是芯片通过光刻机雕刻的最主要原理，也是光刻胶在芯片制造过程中异常重要，甚至堪比光刻机的主要原因。

检查了一下被显影液侵蚀的石墨烯单晶晶圆，得到各种信息数据后，韩元也是露出了个灿烂的笑容。

制备出来的碳基光刻胶效果相当不错, 被覆盖的区域经过紫外光源的照射后几乎完整的保留了下来。

而且这还只是普通能级的紫外光源就有这个效果, 如果是碳基芯片光刻机中使用的极紫外光，那效果会更好。

毕竟普通紫外光的波长和能级都无法与极紫外光相比。

.......

处理完碳基芯片使用的光刻胶，第三年的时间已经过去了八十天左右。

这是大致的时间，具体过去了多少天韩元没有算，毕竟总是一個人在模拟空间里面，算时间也没什么用。

就在这天，小七的声音从韩元手腕上携带的通讯器上传递了出来。

“主人，小八小九发现了一些异常的东西，有一定的概率和那些巨型昆虫有关。”

小七的声音从通讯器中传出来，引起了韩元的好奇也引起了直播间里面观众的好奇。

“什么情况？”

韩元有些诧异的询问道，难怪最近一段时间看不到小八小九，原来是跑出去了。

不过小七的话让他有些讶异。

自从上次他潜入水中找到那些巨型昆虫的母虫并处理掉后，有关巨型昆虫的事情就基本告一段落了。

在能覆盖全球的通讯侦查卫星的配合下，再加上小七本身强大的计算能力和智能，那些巨型昆虫包括母虫都已经被清理的差不多了，怎么现在又冒出来了？

韩元感觉这玩意有点阴魂不散。

“并不是活着的巨型昆虫，更像是一个石制的雕塑。”

小七的声音从通讯器中传递而来，再度引起了韩元的好奇。

“雕塑？”

韩元挑了挑眉，道：“在哪？卫星有没有拍到画面，有的话将视频和图片先传递过来我看看。”

“好的，主人。”

小七应了声，然后便沉寂了下去。

韩元没在意，转身来到了化学实验室中的显示屏旁边等待着。

过了一分多钟的样子，小七的声音再次响起。

“相关图片和视频信息已经传递给您了，主人，具体保存位置如下：/一号存储磁盘/九十号文件夹/......”

“嗯，好，我先看看。”

韩元应了声，操控着特制的输入键盘打开了小七传递信息的文件夹。

通过侦查卫星拍摄到的图片和视频存储在里面，打开一张图片，呈现在显示屏上的，是一只体型巨大的昆虫

看到图片，韩元眼神一凝，差点以为那些巨型昆虫又一次出现了。

但随即，他敏锐的差距图片里面的巨型昆虫和他以前见过的有些不同。

随着图片的打开，与此同时，直播间里面也哗然起来。

【什么鬼，这些虫子又出来了。】

【阴魂不散啊。】

【咦，我怎么感觉这只巨虫是死的样子？】

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